光伏及半导体行业产品-碳化硅悬臂桨

主要特点
碳化硅悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，耐急冷急热，热膨胀系数小，使用寿命长，极大的延长了设备维护清洗周期，并大幅减少污染物。

悬臂桨是光伏电池片装载系统的关键部件。
SiC悬臂桨是半导体晶圆装载系统的关键部件。

高温烧结碳化硅陶瓷制品有以下优点:

1.使用温度<1350°C:

2.高浓度氧化环境，长期使用不掉粉，不掉渣，不开裂:

3.在1350℃温度以下使用，碳化硅桨，碳化硅悬臂桨、碳化硅悬臂梁的强度依然可以达到380MPa;

4.其硬度仅次于金刚石，长期使用不会磨损:

碳化硅桨，碳化硅悬臂桨、碳化硅悬臂梁

碳化硅舟，SIC boat，碳化硅晶舟，碳化硅陶瓷晶舟