碳化硅托盘、陶瓷托盘

碳化硅托盘

SILICON CARBIDE TRAY

碳化硅陶瓷托盘采⽤⾼纯⽆压烧结碳化硅陶瓷材料，具有⾼硬度、耐磨、⾼导热性、⾼温下机械性能稳定、

耐腐蚀等优点，并且产品精度⾼、晶圆外延层刻蚀均匀性好。

应⽤领域： 在LED 晶圆芯⽚的外延层薄膜材料（GaN、SiO2 等）的ICP 刻蚀制程、半导体扩散⽤精密陶瓷零件

及半导体晶圆的MOCVD外延制程。