碳化硅辊棒与温度的关系

　　特别是在炉膛温度超过1600℃以后，氧化速度加快，碳化硅辊棒的使用寿命变短，所以请尽量不要让硅碳棒表面温度过高，即有必要缩小炉膛温度与硅碳棒温度之差。表面负荷密度指棒的发热部单位表面积所允许承载的额定功率。表面负荷密度=额定功率(W)/ 发热部表面积(cm2)。
 

        负荷密度大则发热体表面温度与炉膛温度之差也大。负荷密度大则棒体表面温度高，电阻增长快， SIC棒的寿命短。因此，碳化硅板表面温度负荷密度、炉内气氛、温度与SIC棒老化速度成正比，与SIC棒的寿命成反比。