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碳化硅PE杆
SILICON CARBIDE PE ROD
应⽤领域: pecvd设备系列,具有耐⾼温防变形抗⾼温蠕变等功能,作⽤是将⽯墨⾈放⼊或取出⽯英管。
更改级配后的碳化硅杆在设备运⾏⻓时间后,碳化硅桨由于承受⽯墨⾈的取、放⾈时的重⼒和在⾼温环境下的使⽤,解决了碳化硅的挠度。