光伏半导体-碳化硅杆、SIC杆

碳化硅PE杆

SILICON CARBIDE PE ROD

应⽤领域： pecvd设备系列，具有耐⾼温防变形抗⾼温蠕变等功能，作⽤是将⽯墨⾈放⼊或取出⽯英管。

更改级配后的碳化硅杆在设备运⾏⻓时间后，碳化硅桨由于承受⽯墨⾈的取、放⾈时的重⼒和在⾼温环境下的使⽤，解决了碳化硅的挠度。